赶在新世纪来临的时候,李皓也总算是完成了自己在这个世界的阶段目标。
摆在面前的这一台光刻机,已经实现了一次技术上的弯道超车,在理论上超越了传统的第四代光刻机,提前采用了浸润法,将原本介质的空气替换成了超纯水。
但可惜在实际数据上,因为自身积累的原因,现在采用的193nm光源,也只是将最小制程达到了65nm,和别人不采用浸润法的量产光刻机打了个平手。
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