晶晶圆取出来一小片,其中一半的面积涂抹上光刻胶,另一半则保持原样。
处理好后的石墨烯单晶晶圆通过紫外光源进行照射,时间为期三十秒。
三十秒的照射时间过后,韩元将其取出,通过特殊溶液清洗掉上面覆盖的碳基光刻胶, 然后浸入显影溶液中。
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