麦的极紫外线光刻机,使用的光源是采用激光持续轰击锡滴。
由于极紫外线只占锡滴发出的光很少一部分,大约只有百分之几,因此要使用足够强的激光轰击锡滴,才能发出足够强的光——至少得是3万瓦以上,而且还得持续不停的输出。
大功率的激光,持续不断的准确命中锡滴,每一项都是要命的技术。
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